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微電子機械加工手藝，包羅體微機械加工手藝、概況微機械加工手藝、LIGA手藝（X光深層光刻、微電鑄和微復制手藝）、激光微加工手藝和微型封裝手藝等。MEMS的成長，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和靠得住性程度提高到了新的高度。傳感器的檢測儀表，在微電子手藝根本上，內置微處置器，或把微傳感器和微處置器及相關集成電（運算放大器、A/D或D/A、存貯器、收集通信接口電）等封裝在一路完成了數字化、智能化、收集化、系統化。（注：MEMS手藝還完成了微電動機或施行器等產物，將另作文引見）收集化方面，目上次要是指采用多種現場線和以太網（互聯網），這要按各行業的特點，選擇此中的一種或多種，近年內zui風行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。除MEMS外，新型傳感器的成長還有賴于新型材料、元件和納米手藝，如新一代光纖傳感器、超導傳感器、焦平面陳列紅外探測器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、收集化傳感器、智能傳感器、恍惚傳感器、多功能傳感器等。

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多傳感器數據融合手藝正在構成熱點，它構成于20世紀80年代，它分歧于一般信號處置，也分歧于單個或多個傳感器的監測和丈量，而是對基于多個傳感器丈量成果根本上的更高條理的分析決策過程。有鑒于傳感器手藝的微型化、智能化程度提高，在消息獲取根本上，多種功能進一步集成致使于融合，這是必然的趨向，多傳感器數據融合手藝也推進了傳感器手藝的成長。多傳感器數據融合的定義歸納綜合：把分布在分歧的多個同類或分歧類傳感器所供給的局部數據資本加以分析，采用計較機手藝對其進行闡發，消弭多傳感器消息之間可能具有的冗余和矛盾，加以互補，降低其不確實性，獲得被測對象的分歧性注釋與描述，從而提高系統決策、規劃、反映的快速性和準確性，使系統獲得更充實的消息。其消息融合在分歧消息條理上呈現，包羅數據層（像素層）融合、特征層融合、決策層（層）融合。因為它比單一傳感器消息有如下長處，即容錯性、互補性、及時性、經濟性，所以逐漸獲得推廣使用。使用范疇除軍事外，已合用于主動化手藝、機械人、海洋、地動觀測、建筑、空中交通管制、醫學診斷、遙感手藝等方面。
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